シラバス情報
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教員名 ： 小林 篤
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科目授業名称（和文） Name of the subject/class (in Japanese)
半導体プロセス工学特論 （旧：半導体プロセス工学特論）
科目授業名称（英文） Name of the subject/class (in English)
Advanced Study on SemiconductorProcessing
授業コード Class code
998C304
科目番号 Course number
82AMMAP501
教員名
小林 篤
Instructor
Atsushi Kobayashi
開講年度学期
2026年度前期
Year
2026年度
Semester
①First semester
曜日時限
木曜2限
Class hours
Thursday 2nd
開講学科・専攻 Department
先進工学研究科 マテリアル創成工学専攻
Department of Materials Science and Technology, Graduate School of Advanced Engineering 単位数 Course credit
2.00単位
授業の方法 Teaching method
講義
Lecture 外国語のみの科目（使用言語） Course in only foreign languages (languages)
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授業の主な実施形態 Main class format
① [対面]対面授業/ [On-site] On-site class
概要 Description
GaN, SiC, Ga2O3, ダイヤモンドなどのワイドバンドギャップ半導体の基礎物性と製造プロセスについて学び、光と電子を制御する応用分野への理解を深める。
Learn about the basic properties and device process of wide bandgap semiconductors such as GaN, SiC, Ga2O3, and diamond, and deepen your understanding of optoelectronic devices. 目的 Objectives
本科目は、カリキュラム・ポリシーに基づき、材料工学分野の専門的知識の修得と、先端領域技術開発における課題を解決する 能力を養成する「選択科目」の一つである。本科目は、ディプロマ・ポリシー「材料工学の専門知識を基盤として新しい視点から主導的に主体的に課題を解決し、社会に貢献する創造性豊かな人材を育成する」の実現に資する。
Based on the Curriculum Policy, this is an elective course designed to facilitate the acquisition of specialized knowledge in the field of materials engineering and cultivate the ability to solve problems in the development of cutting-edge technologies. This course contributes to the realization of the Diploma Policy. GaN, SiC, Ga2O3, ダイヤモンドなどのワイドバンドギャップ半導体に関心があり、将来、関連分野で技術者や研究者を志す学生に、半導体結晶の基礎物性評価技術と製造プロセスに関する知識を付与することを目的とする。 The objective of this course is to provide students who are interested in wide bandgap semiconductors such as GaN, SiC, Ga2O3, and diamond, and who wish to become engineers or researchers in related fields in the future, with knowledge of basic characterization techniques of semiconductor crystals and device processes. 到達目標 Outcomes
ワイドバンドギャップ半導体の基礎的な光学特性と電気特性を理解し、光・電子デバイスの作製方法を説明できるようになる。
Understand the basic optical and electrical properties of wide bandgap semiconductors and be able to describe the fabrication process of optoelectronic devices. 卒業認定・学位授与の方針との関係（学部科目のみ）
履修上の注意 Course notes prerequisites
特に定めない。
Not specified. アクティブ・ラーニング科目 Teaching type（Active Learning）
小テストの実施 Quiz type test／ディベート・ディスカッション Debate/Discussion／グループワーク Group work／プレゼンテーション Presentation
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準備学習・復習 Preparation and review
授業中に紹介する論文や解説記事をよく読んで、授業の理解に役立てること。
Read carefully the papers and articles introduced in class to help you understand the semiconductor characteristics. 成績評価方法 Performance grading policy
授業中の小テストとレポートにより総合的に評価する。
Comprehensive evaluation will be based on quizzes and reports. 学修成果の評価 Evaluation of academic achievement
・S：到達目標を十分に達成し、極めて優秀な成果を収めている
・A：到達目標を十分に達成している ・B：到達目標を達成している ・C：到達目標を最低限達成している ・D：到達目標を達成していない ・-：学修成果の評価を判断する要件を欠格している ・S：Achieved outcomes, excellent result ・A：Achieved outcomes, good result ・B：Achieved outcomes ・C：Minimally achieved outcomes ・D：Did not achieve outcomes ・-：Failed to meet even the minimal requirements for evaluation 教科書 Textbooks/Readings
教科書の使用有無（有=Y , 無=N） Textbook used(Y for yes, N for no)
N
書誌情報 Bibliographic information
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MyKiTSのURL（教科書販売サイト） URL for MyKiTS(textbook sales site)
教科書および一部の参考書は、MyKiTS (教科書販売サイト) から検索・購入可能です。
https://gomykits.kinokuniya.co.jp/tokyorika/ It is possible to search for and purchase textbooks and certain reference materials at MyKiTS (online textbook store). https://gomykits.kinokuniya.co.jp/tokyorika/ 参考書・その他資料 Reference and other materials
「半導体工学 第3版・新装版:半導体物性の基礎」高橋 清、山田 陽一(著)、森北出版
「よくわかる 電子デバイス」筒井 一生、オーム社 「Physics of Semiconductor Devices 3rd Edition」S. M. Sze and K. K. Ng (Wiley, New York)「半導体デバイス−基礎理論とプロセス技術」 (S.M.Sze，第2版) 授業計画 Class plan
全対面授業回の受講を原則とします。尚、成績評価点は「成績評価方法」に従います。
第1回 半導体結晶成長技術を理解する Part 1: Understand crystal growth of semiconductors 第2回 半導体結晶成長におけるドーピング方法を理解する Part 2: Understand doping techniques in semiconductors 第3回 結晶成長による半導体のバンドギャップ制御手法を理解する Part 3: Understand band gap enginnering of semiconductors 第4回 ワイドギャップ半導体中の電子統計を理解する Part 4: Understand electron statistics in wide-gap semiconductors 第5回 ワイドギャップ半導体中の電子輸送を理解する Part 5: Understand electron transport in wide-gap semiconductors 第6回 ワイドギャップ半導体の接合を理解する Part 6: Understand junction of wide-gap semiconductors 第7回 発光ダイオードとレーザダイオードの作製プロセスを理解する Part 7: Understand the fabrication process of light emitting diodes and laser diodes 第8回 高周波・高耐圧パワーデバイスの作製プロセスを理解する Part 8: Understand the fabrication process of high frequency and high voltage power devices 第9回 窒化物半導体光デバイスの製造プロセスを理解する Part 9: Understand the fabrication process of optical devices based on nitride semiconductors 第10回 窒化物半導体電子デバイスの製造プロセスを理解する Part 10: Understand the fabrication process of electon devices based on nitride semiconductors 第11回 窒化物半導体新機能デバイスの製造プロセスを理解する Part 11: Understand the fabrication process of novel devices based on naitride semiconductors 第12回 先進半導体プロセスを理解する(1) Part 12: Understand the device process of advaned semiconductors 第13回 先進半導体プロセスを理解する(2) Part 13: Understand the device process of advaned semiconductors (2) 第14回 半導体プロセスの未来を議論する Part 14: Discuss the future of semiconductor process 第15回 まとめ Part 15: Summary 担当教員の実務経験とそれを活かした教育内容 Work experience of the instructor
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教育用ソフトウェア Educational software
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備考 Remarks
授業でのBYOD PCの利用有無 Whether or not students may use BYOD PCs in class
授業での仮想PCの利用有無 Whether or not students may use a virtual PC in class
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